,省去了很多部分。整个实验目的有两个,一是看技术原理是不是能够实现,再有则是更直接的展现技术难点,方便明确接下来的技术研发重点。”
听着李亦平的话,又看着眼前这一大堆东西,郑诚也不由得感慨。这玩意就是光刻机啊!不,准确的说还只是有个大概模样,相当于盖房子刚打好地基架了梁。而就这些,他们已经忙了两年多,团队也从原本的几十人,扩大到了现在的两三百人。
“大规模集成电路制造的核心就在于光刻设备,为了摩尔定律继续发挥作用,必须想尽办法提高加工精度。当初选中了光刻方式,现在也同样。
根据瑞利公式:CD=k1*,我们能选择的就是降低波长λ,提高镜头的数值孔径NA,降低综合因素k1。不过,在零件加工精度逼近极限的情况下,摆在面前的其实只有一条路,选择波长更短的光源。”
绕着这台机器,李亦平看起来兴致不错,对着旁边的郑诚侃侃而谈。
“目前看来比较有前途的就是激光,我们这次验证的是248nm的KrF激光。一旦成功,将对整个电子产业产生重大意义。同样大小的芯片,功能却可能是几倍十几倍的增长。”
说到激动处,李亦平的手都不由得挥动起来,面对这种规模巨大的项目,实在很难让人不激动。
连郑诚也听的心中震动,他当然知道,这都是真的。为什么是九十年代互联网兴起?不是因为互联网技术,更不是因为那些互联网公司诞生,而是因为计算机硬件获得了技术上的大幅度进步!怎么进步的?是芯片更加强大。从根本来说,则是光刻精度的提高。
“李老师!那,这东西什么时候能够量产?”郑诚立刻说道。
“也许……”李亦平的手本想比划个数字,但还是放弃了。
“我也不知道。只能说难度很大,尽量不落后国际同行太多。这么跟你说吧,如果高科技有所谓标准,那到了这一步,光刻机就算踏入高科技产业的门槛了!研发规模太大了,步步掣肘,快不得。”
郑诚听的有些发懵,他倒都听得懂,大概原理也看过资料,可要说难度在哪?为什么难?那他就不知道了。
憋了好一会也没想出来一个有水平的问题,他只好说道:“那,现在实验室这边还需要什么?”
他只有钱。
“很多!”李亦平目光有些凝重,说道:“比如激光光源,高精细度的反射镜片,还有高分辨率高精度光刻胶,等等很多东西。这么说吧,一个完整优秀的产业链供应,而且大部分都是不能进口的。”
郑诚点点头,表示理解。他早知道光刻机复杂,原本就有心理准备,现在看比预想的还要好一些。再说了,又不是只他们有困难,国外别的企业也还没影呢。
再怎么,现在起步也比以后要好的多,起码还站在同一个起跑线上。不过,除了基础弱了些,他也不是全无优势,比如,可以持续不断的高投入。在这个赢家通吃的行业,这一点很重要。
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